高级检索
李家方. 纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件[J]. 物理, 2021, 50(4): 267-267.
引用本文: 李家方. 纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件[J]. 物理, 2021, 50(4): 267-267.

纳米剪纸实现亚微米像素可重构纳米光机电器件

  • 摘要: 随着纳米制造技术的发展,微机电系统与纳米光子技术相结合,形成了国际前沿的纳米光机电系统 (NOEMS),在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛。但重构单元的小型化与提高调制深度之间不能兼顾,这大大限制了光机电调制的对比度,并导致亚微米像素的空间光调制存在技术瓶颈。

     

/

返回文章
返回