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| 集成电路中的物理问题讲座 第十讲 集成电路技术的一些物理限制 |
| 马俊如 |
| 中国科学院半导体研究所 |
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| 中国科学院半导体研究所 |
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摘要 １９５８年第一个平面型晶体管的诞生，为集成电路的发明奠定了坚实的技术基础．翌年，集成电路问世，其后集成规模以每年翻一番的高速度迅速发展．现已有能在几毫米见方的小硅片（又称芯片）上集成包含百万只元器件的超大规模集成电路．这二十多年中，一个芯片中集成的元器件数增加了几十万倍，而芯片的面积仅扩大了一个数量级左右．因此集成技术的发展主要是依靠缩小芯片中每个器件的尺寸来实现．实际上器件的线度缩小了近三?...
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出版日期: 1985-12-20
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1985, Vol. 14 