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HenryI.Smith, HaroldG.Craighead, 解思深. 纳米尺寸微结构制备[J]. 物理, 1991, 20(1).
引用本文: HenryI.Smith, HaroldG.Craighead, 解思深. 纳米尺寸微结构制备[J]. 物理, 1991, 20(1).

纳米尺寸微结构制备

  • 摘要: 10年前,电子器件的研究和制备刚刚跨入微米的量级.今天,已经在研究100nm尺寸的器件了.从而也就出现了若干新的术语如纳米尺度器件(nanoscaledevice),纳米制版术(nanolithography),纳米尺寸微结构制备或简称纳米制备(nanofabrication).纳米尺度器件(以下简称纳米器件)可分成两类:常规器件和量子器件.通道长度短于100nm的场效应管是常规器件的例子.?...

     

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