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董树忠. 实现纳米结构的新途径──STM制版技术[J]. 物理, 1991, 20(11).
引用本文: 董树忠. 实现纳米结构的新途径──STM制版技术[J]. 物理, 1991, 20(11).
shu

实现纳米结构的新途径──STM制版技术

    摘要
  • 摘要: 实现纳米结构和器件，对于开发基于量子效应的新器件和提高现有电子器件的性能，具有重要的意义．扫描隧道电子显微镜（ｓｃａｎｎｉｎｇｔｕｎｎｅｌｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ＳＴＭ）具有原子尺度的分辨率，用以进行表面加工，可能发展成一种实现纳米结构和器件的新技术．本文简单介绍用ＳＴＭ进行纳米级制版的原理、方法以及在实验室中已实现的水平和前景．

     

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