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杨国桢, 顾本源, 张国庆, 董碧珍. 新兴的波前工程学[J]. 物理, 1995, 24(1).
引用本文: 杨国桢, 顾本源, 张国庆, 董碧珍. 新兴的波前工程学[J]. 物理, 1995, 24(1).
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新兴的波前工程学

    摘要
  • 摘要: 基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术，应用于光学掩模设计，可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片．波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命，其前景十分引人瞩目．

     

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