物理
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物理  2019, Vol. 48 Issue (2): 82-87    DOI: 10.7693/wl20190202
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光子集成用的新型波导材料Si3N4
刘耀东1,2,李志华1,2,†,余金中1,2,3,††
(1 中国科学院微电子研究所 微电子器件与集成技术重点实验室 北京 100029)
(2 中国科学院大学 北京 100049)
(3 中国科学院半导体研究所 北京 100083)
New waveguide material Si3N4 for photonic integration
LIU Yao-Dong1,2,LI Zhi-Hua1,2,†,YU Jin-Zhong1,2,3,††
(1 Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology,Institute of Microelectronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China)
(2 University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China)
(3 Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

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