摘要: 分子束外延是七十年代初在真空蒸发外延的基础上发展起来的一种新的外延技术．它是把要蒸发的外延物质，放在喷射炉中，在１０－１０托以上超高真空的喷射室内加热，使物质蒸发．蒸气分子从喷射炉的小孔射出，成为分子束，直接在保持有一定温度的衬底上淀积（见图１）．从分子一个一个地粘附在衬底表面形成外延淀积这一点来看，分子束外延与真空蒸发外延本质上相同．但普通真空蒸发系统的真空度为１０－６托左右，系统内残留的?...