摘要: 一、引言我们现在所说的固体光学薄膜，大多数是指用真空蒸发的方法制备的薄膜，也就是所谓物理蒸汽淀积膜．这种薄膜的制备过程受着多种条件的影响．例如，由于蒸发材料、加热源材料、蒸发速率、环境条件、基体材料、基体温度等因素的不同，形成薄膜的性质和结构也就不同．而且理论上的计算往往与实际测量的结果有着很大的偏差．这就是所谓成膜的多因素影响薄膜的多变化．要制备一种合乎要求、经久耐用的薄膜实属不易．因此，?...