摘要: 随着电子束分析仪器的发展，微区成分（包括表面微区成分）分析已经有了有力的工具．利用电子束激发的标识Ｘ光，目前的仪器已经能够在几分钟之内对几个（μｍ）～３范围（扫描透射电镜中还可缩小几个数量级）内的多种成分（例如八种成分）作出定量分析．利用电子束激发的俄歇电子，目前的仪器已经能对表面（０．１μｍ）～２范围内的成分进行定量分析（准确度尚待改进）．以下主要介绍这些定量分析的原理及应用中的一些问题．?...