摘要: 离子镀是物理气相沉积（ｐｈｙｓｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅ－Ｐｏｓｉｔｉｏｎ）法的一种，是美国物理学家Ｍａｔｔｏｘ于六十年代初，将真空蒸发和真空溅射结合起来而研制成功的一种新的镀膜技术１］．由于它的独特优点受到人们广泛的重视，许多科学工作者对这一技术进行了深入研究．七十年代初，Ｂｕｎｓｈａｈ２］在离子镀装置中加上探测极，研制成功一种活性反应法（ＡＲＥ法）；Ｍｏｒｅｙ３］等人研制成功空心阴极等离子....