摘要: 硅与周期表上许多金属能形成金属硅化物１－３］．近十年来，由于半导体科学技术的发展和要求，对金属硅化物的研究很活跃．微电子器件（ＬＳＩ，ＶＬＳＩ）的基本结构中含有大量的金属化系统，例如器件和单元的互连，硅与金属的接触肖特基势垒（ＳＢ）和欧姆接触］和栅电极．据估计，每一片２５６ＫＭＯＳＲＡＭ就有５０万个左右的金属互连．一块中规模集成电路则平均有７０个左右的ＳＢ二极管和４００个左右的欧姆接触．这?...