摘要: 荷能粒子轰击固体表面，打出离子和中性原子的现象称为溅射．由于离子易于在电磁场中加速或偏转，所以荷能粒子一般为离子，称这种溅射为离子溅射．随着真空技术、薄膜技术、表面分析技术以及表面科学的发展。离子溅射的用途越来越广泛，其重要性也日益为人们所共知．如今，离子溅射在溅射离子源、二次离子质谱分析（ＳＩＭＳ）、离子束分析、溅射镀膜、离子镀、离子和离子束刻蚀、表面微细加工等领域有广泛的应用．同时，溅射?...