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准分子激光近年应用的进展

    摘要
  • 摘要: 本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望，介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用．

     

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