摘要: 评述了扫描电镜科学技术和应用的发展．有关仪器的最大改进可以总结如下：（１）采用了数字图像记录系统，扫描电子像的质量可以通过计算机的图像增强技术而大为改善；（２）整个扫描电镜完全由计算机来控制，其观察条件和分析条件可以储存和再现；（３）场发射电子枪扫描电镜的分辨率已经达到１．５ｎｍ（对于大试样）和０．６ｎｍ（对于小试样）的水平．最后还讨论了在扫描电镜中的新成像技术及其多功能的发展趋向．