摘要: 介绍了Ｘ射线衍射Φ旋转方法，结合具体实例说明了该方法在单晶片全方位定向、研究生长薄膜层与衬底的取向关系、研究生长薄膜层中缺陷、以及在该系统辅助下应用非对称θ－２θ衍射技术研究生长层与衬底界面晶格失配方面的应用，从研究结果可以看出，Ｘ射线衍射Φ旋转技术是研究大失配生长层完整性的有效工具。