摘要: 随着纳米制造技术的发展，微机电系统与纳米光子技术相结合，形成了国际前沿的纳米光机电系统 (NOEMS)，在信息、电子、医学、工业、汽车、航空航天系统中应用广泛。但重构单元的小型化与提高调制深度之间不能兼顾，这大大限制了光机电调制的对比度，并导致亚微米像素的空间光调制存在技术瓶颈。